发布日期：2024-09-09 02:06 点击次数：66
中国网7月13日讯 据悉猪猪系列，近日泛半导体智能制造全体措置决策供应商合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称“合肥欣奕华”）已完成12inch半导体自动物料搬送系统AMHS（Automatic Material Handling System）的开采和Demo系统运营，并通过了时代规格考据。
芯片制造对工艺和环境条件很高——先进的12inch半导体工场需要无尘洁净的环境，对扫数工场运营的自动化、智能化进度条件很高，这使得如何提高扫数洁净工场的空间运用率、减少机台的闲置时辰、普及坐蓐效果和居品良率成为其最蔼然的问题。12inch半导体制造工场的AMHS系统由多种硬件建筑（OHT、OHB、OHCV、Stocker、Lifter、NTB等）和软件系统（MCS、OCS、STKC等）构成。AMHS系统不错在洁净环境中末端复杂工艺间的无东说念主自动搬送，普及运营效果的同期确保品性和良率。因此AMHS系统是12inch先进工艺晶圆厂大畛域量产，提高坐蓐效果的优先聘请。跟着行业时代发展，AMHS也将被大畛域应用于12inch硅片制造、芯片制造、先进封装等多样半导体制造工序中。
合肥欣奕华AMHS系统的搬送效果、晶圆保护、手脚精度等各项性能见地均达到海外先进水平，况且领有独特的旅途搜索算法专利，具备大畛域车辆智能调换才略。其中自主研发的高速OHT居品，时代规格和相信性达到业界最初水平，不错在最高320m/min的高速行驶下恰当启动，同期高速行驶的振动数据、移载速率、Vehicle间防冲撞远隔等时代见地并列业界顶尖供应商。合肥欣奕华OHT最大负载15公斤，不错对应多种制造工序的居品，况且具备单LOOP内同期远隔200台Vehicle的配车才略。
“咱们打造了占大地积400平米，额外百米轨说念的渊博AMHS Demo系统，居品具备先进的时代和快速迭代才略。OHT和Stocker的Demo为了考据复杂系统的相信性和时代见地，OHT想象了多种复杂轨说念环境，包括直轨、转弯、不合合流部等猪猪系列，进一步还很是想象并考据歪斜轨说念爬坡功能、双层轨说念、轨说念自清洁功能以及搬送中的晶圆盒后盖畸形及时侦测功能等。咱们还对中枢部品无线供电系统进行了冗余化想象，对软件系统的做事器进行自动切换的双机热备想象，大大增多了系统的相信性。软件方面，OCS远隔系统和MCS系统使用新式软件架构，扶植海量大数据的快速荟萃和分析，扶植束缚机更新，其系统具备及时数据管制与统计、状况3D重现、Vehicle预约、FDC监控、旅途筹算算法的动态更新等蜕变功能。”合肥欣奕华AMHS居品认真东说念主先容到，“客户很关注咱们在大畛域量产制造下系统对应才略，为此咱们成心搭建了Digital Twin（数字孪生）平台，不但能加速居品想象迭代的速率，还能构建与客户工场换取的数字化臆造工场，模拟建筑、系统和简直坐蓐制造的环境，从而考据超大畛域远隔才略。咱们提供了一个高相信性、高效的12inch晶圆AMHS系统的全体措置决策。”据了解，开采团队领有跳跃15年AMHS从业劝诫，长远明白半导体AMHS居品应用及居品时代，当今已苦求专利和软著二十多项。
